ការរួមបញ្ចូលគ្នារវាងហ៊ីងដែលអាចបត់បែនបានជាមួយនឹងចំណេះដឹងអំពីការធ្វើសរសៃប្រសាទ

អ្នកធ្វើពិពិធកម្ម Piezoelectric ត្រូវបានគេស្គាល់ថាចលនារលោងរបស់ពួកគេគុណភាពបង្ហាញខ្ពស់ភាពរឹងខ្ពស់និងប្រសិទ្ធភាពនៃការបំលែងថាមពលខ្ពស់។ ពួកវាល្អសម្រាប់ទីតាំងច្បាស់លាស់ក្នុងកម្មវិធីវិស្វកម្ម។ ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយអ្នកធ្វើសកម្មភាពទាំងនេះជាធម្មតាមានមីក្រូមីលរាប់ម៉ឺនសម្រាប់ការផ្លាស់ទីលំនៅដែលប្រហែលជាមិនគ្រប់គ្រាន់សម្រាប់កម្មវិធីជាច្រើនដែលត្រូវការចលនាធំជាងមុន។

ដើម្បីជំនះលើដែនកំណត់នេះការហ៊ីងដែលអាចបត់បែនបានអាចត្រូវបានប្រើដោយភ្ជាប់ជាមួយអ្នកធ្វើពិពិផ្ទេង Piezoelectric ។ ហ៊ីងដែលអាចបត់បែនបានផ្តល់នូវចលនារលូនមិនតម្រូវឱ្យរំអិលមិនមានប្រតិកម្មឬកកិតទេហើយផ្តល់ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់។ ពួកគេគឺជាវិធីសាស្រ្តសមស្របបំផុតសម្រាប់ការសម្រេចបានការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់អ្នកធ្វើសកម្មភាព។ លើសពីនេះទៀតយន្តការហ៊ីងដែលអាចបត់បែនបានផ្តល់នូវការផ្ទុកជាមុនដែលសមស្របសម្រាប់សកម្មភាព piezoelectric ដែលរារាំងវាពីការទទួលរងនូវភាពតានតឹងធុញទ្រាន់។

មានឧទាហរណ៍ទូទៅជាច្រើននៃការប្រើប្រាស់ដ្រាយធាតុ Piezoelectric និងការបញ្ជូនយន្ដហោះហ៊ីងដែលអាចបត់បែនបាន៖

1. តារាងទីតាំងមានភាពជាក់លាក់ខ្ពស់: ការិយាល័យស្តង់ដារជាតិអាមេរិកបានបង្កើតការងារមានទីតាំងខ្នាតតូចនៅឆ្នាំ 1978 សម្រាប់ការវាស់វែងទទឹងបន្ទាត់នៃការវាស់ទទេរបស់ Photomasks ។ Workbench ត្រូវបានជំរុញដោយធាតុផ្សំរបស់ Piezoelectric ហើយយន្ដការក្រុមហ៊ុនហ៊ីងហ៊ីងដែលអាចបត់បែនបានត្រូវបានប្រើសម្រាប់ពង្រីកការផ្លាស់ទីលំនៅ។ វាមានភាពបង្រួម, ធ្វើការនៅក្នុងកន្លែងទំនេរមួយ, អាចមានទីតាំងវត្ថុមានលីនេអ៊ែរនៅក្នុងជួរធ្វើការ 50 មមជាមួយនឹងដំណោះស្រាយ 1NM ឬប្រសើរជាងនេះ។

2. ការស្កេនមីក្រូទស្សន៍រូងក្រោមដី (អេសអឹមអេស): ដើម្បីពង្រីកជួរវាស់វែងរបស់អេស។ អ្នកស្រាវជ្រាវបានបង្កើតថាំតំរូវការដ៏ជ្រាលជ្រៅដែលជំរុញដោយយន្ដការហ៊ីងដែលអាចបត់បែនបានយ៉ាងជ្រាលជ្រៅ។ ការងារទាំងនេះអនុញ្ញាតឱ្យមានការវាស់វែងវាលធំ។ ឧទាហរណ៍ការិយាល័យស្តង់ដារជាតិអាមេរិករបស់សហរដ្ឋអាមេរិកបានរាយការណ៍ថាមានការស៊ើបអង្កេត 500pm x 500 រសៀលអេស។ អិមដែលមានទេសភាពចម្ងាយ 500 មម។ Workbench X-y ត្រូវបានជំរុញដោយប្លុក Piezoelectric ហើយយន្ដការ HINE ដែលអាចបត់បែនបានមានសមាមាត្រនៃការលេចចេញមកប្រហែល 18 ។

3. ម៉ាស៊ីនដែលមានគុណភាពច្បាស់លាស់: អ្នកកាន់ឧបករណ៍កំណត់ហេតុខ្នាតតូចផ្សំឡើងដោយធាតុផ្សំនៃធាតុផ្សំនៃយន្តការហ៊ីងដែលអាចបត់បែនបាននិងឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាដែលត្រូវបានប្រើសម្រាប់ការកាត់ពេជ្រយ៉ាងជាក់លាក់ជ្រុល។ អ្នកកាន់ឧបករណ៍មានជំងឺដាច់សរសៃឈាមខួរក្បាលនៃ 5UM និងដំណោះស្រាយទីតាំងប្រហែល 1nm ។ វាត្រូវបានប្រើសម្រាប់ដំណើរការតភ្ជាប់ភាពជាក់លាក់ដូចជាការផ្សារឡាស៊ែរ។

4. បោះពុម្ពក្បាល: ប្រធានព្រីននៃព្រីនម៉ាទ្រីសផលប៉ះពាល់ប្រើប្រាស់គោលការណ៍នៃការបើកដ្រាយ Piezoelectric និងការបញ្ជូនយន្ដហោះដែលអាចបត់បែនបាន។ យន្ដការហ៊ីងហ៊ីងដែលអាចបត់បែនបានពង្រីកការផ្លាស់ទីលំនៅនៃប្លុក piezoelectric ហើយជំរុញចលនានៃម្ជុលព្រីន។ ម្ជុលបោះពុម្ពច្រើនបង្កើតបានជាក្បាលព្រីនដែលអនុញ្ញាតឱ្យបោះពុម្ពតួអក្សរដែលផ្សំឡើងនៃម៉ាតធ័រ។

5. ការផ្តោតអារម្មណ៍ដោយស្វ័យប្រវត្តិ: នៅក្នុងផលិតកម្មស្វ័យប្រវត្ដិប្រព័ន្ធស្វ័យប្រវត្តិការស្វ័យប្រវត្តិកម្មត្រូវបានទាមទារដើម្បីទទួលបានរូបភាពដែលមានគុណភាពខ្ពស់។ ដ្រាយម៉ូទ័រប្រពៃណីមានទីតាំងត្រឹមត្រូវមានកំណត់ហើយត្រូវបានកំណត់ដោយការពង្រីកកែវថតគោលដៅ។ ដ្រាយ Piezoelectric ដែលមានយន្តការហ៊ីងដែលអាចបត់បែនបានផ្តល់នូវការកើតឡើងម្តងទៀតបានល្អប្រសើរហើយអាចផ្តោតលើកញ្ចក់គោលបំណងដែលមានជាតិពង្រីកខ្ពស់។

6. ម៉ូតូ Piezoelectric: ម៉ាស្សាហ្សូឡេកម៉ូទ័រអាចត្រូវបានរចនាឡើងដោយប្រើដ្រាយវ៍ចំរុះនិងការបញ្ជូនយន្ដហោះដែលអាចបត់បែនបាន។ ម៉ូទ័រទាំងនេះអាចទទួលបានការផ្លាស់ប្តូរការតោងនិងបោះជំហានទៅមុខឬចលនាលីនេអ៊ែររវាងអ្នករត់និងស្ទាក់។ ពួកគេអាចផ្តល់នូវភាពត្រឹមត្រូវនៃឋានៈខ្ពស់ក្នុងល្បឿនទាបហើយអាចទប់ទល់នឹងពេលវេលាឬកម្លាំងជាក់លាក់មួយចំនួន។

7. សត្វខ្លាឃ្មុំខ្យល់វិទ្យុសកម្ម: សត្វខ្លាឃ្មុំវិទ្យុសកម្មសកម្មប្រើប្រាស់នូវយន្តការហ៊ីភភែនដែលអាចបត់បែនបាននិងដ្រាយ Piezoelectric ដើម្បីគ្រប់គ្រងការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់កោរសក់។ នេះធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវភាពត្រឹមត្រូវនៃចលនានៃរាងពងក្រពើបើប្រៀបធៀបនឹងសត្វខ្លាឃ្មុំបែបខ្យល់បែបបុរាណ។

8. មីក្រូក្រេឌីតៈអ្នកក្រឡុកមីក្រូត្រូវបានប្រើក្នុងការជួបប្រជុំគ្នាមីក្រូហិរញ្ញវត្ថុឧបាយកលកោសិកានិងការវះកាត់ល្អ។ ពួកគេពង្រីកការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់អ្នកសំដែង Piezoelectric តាមរយៈយន្តការហ៊ីងដែលអាចបត់បែនបានដើម្បីអនុញ្ញាតឱ្យចាប់យកវត្ថុតូចៗ។

ការប្រើប្រាស់ហ៊ីងដែលអាចបត់បែនបានក្នុងរចនាសម្ព័ន្ធគាំទ្រយន្តការកែតម្រូវយន្តការកែតម្រូវនិងឧបករណ៍វាស់ដែលអាចអនុវត្តបានយ៉ាងទូលំទូលាយក្នុងវិស័យវាស់ស្ទង់ភាពជាក់លាក់នៃមេកានិចភាពជាក់លាក់បច្ចេកវិទ្យាមីក្រូវ៉េវបច្ចេកវិទ្យានិងបច្ចេកវិទ្យាតិចណូណូ។

សរុបសេចក្តីមកការយល់ដឹងដែលអាចបត់បែនបានផ្តល់នូវគុណសម្បត្តិជាច្រើនក្នុងការសម្រេចបាននូវការផ្លាស់ទីលំនៅនិងការដាក់ទីតាំងយ៉ាងជ្រាលជ្រៅជាមួយអ្នកធ្វើពិពិធកម្ម Piezoelectric ។ ពួកគេផ្តល់នូវចលនារលោងភាពជាក់លាក់ខ្ពស់និងគ្មានការកកិតឬប្រតិកម្មប្រតិកម្ម។ ដោយប្រើយន្ដការហ៊ីភភនដែលអាចបត់បែនបានក្នុងការផ្ទេរប្រាក់និងពង្រីកការផ្លាស់ទីលំនៅរបស់ពិព័រណ៍ piezoelectric វិស្វករអាចទទួលបានចលនាធំ ៗ និងភាពត្រឹមត្រូវខ្ពស់ជាងមុននៅក្នុងកម្មវិធីជាច្រើន។