壓電執行器以其平穩的運動,高分辨率,高剛度和高能量轉換效率而聞名。 它們是工程應用中精確定位的理想選擇。 但是,這些執行器通常只有幾至數十萬微米的位移,這對於許多需要更大運動範圍的應用可能不足。
為了克服這一限制,可以將柔性鉸鏈與壓電執行器一起使用。 柔性鉸鏈提供平穩的運動,不需要潤滑,沒有反彈或摩擦,並提供高精度。 它們是實現執行器位移的最合適方法。 此外,柔性鉸鏈機制為壓電執行器提供了適當的預緊力,從而防止其受到拉伸應力。
使用壓電元件驅動器和柔性鉸鏈機構傳輸有幾個典型的示例:
1. 超精確定位表:美國國家標準局在1978年開發了一個微位置工作台,用於攝影的線寬度測量。 工作台是由壓電元件驅動的,柔性鉸鏈機制用於位移放大。 它是緊湊的,在真空中起作用,並且可以在50mm的工作範圍內線性定位對象,分辨率為1nm或更高。
2. 掃描隧道顯微鏡(STM):為了擴大STM的測量範圍,研究人員開發了由壓電驅動的柔性鉸鏈機制驅動的二維超精確工作台。 這些工作表可以進行大型現場測量。 例如,美國國家標準局報告了500pm x 500pm STM探針,其視野為500mm。 X-Y工作台由壓電塊驅動,柔性鉸鏈機制的位移放大比約為18。
3. 超精確加工:由壓電元件,柔性鉸鏈機制和電容傳感器組成的微位置工具支架用於超精確的鑽石切割。 工具持有器的中風為5UM,定位分辨率約為1nm。 它用於精確連接過程,例如激光焊接。
4. 打印頭:衝擊點矩陣打印機的打印頭採用了壓電驅動器和柔性鉸鏈機構的傳輸原理。 柔性鉸鏈機制放大了壓電塊的位移,並驅動了印刷針的運動。 多個打印針形成打印頭,允許打印由點矩陣組成的字符。
5. 光學自動焦點:在自動生產中,需要高精度自動對焦系統才能獲得高質量的圖像。 傳統的電機驅動器的定位精度有限,並且受到目標鏡頭的放大限制。 具有靈活的鉸鏈機制的壓電驅動器可提供更好的可重複性,並可以專注於具有高放大倍率的客觀鏡頭。
6. 壓電電動機:可以使用壓電驅動器和柔性鉸鏈機構傳輸設計壓電電動機。 這些電動機可以在搬運工和定子之間實現夾緊和踩踏旋轉或線性運動。 它們可以在低速下提供高定位精度,並且可以承受某些時刻或力量。
7. 主動徑向空氣軸承:主動徑向空氣軸承利用柔性鉸鏈機制和壓電驅動器精確控制軸的徑向位移。 與傳統的空氣軸承相比,這提高了軸的運動精度。
8. 微抓手:微夾具用於微型鼓室組件,生物細胞操縱和精細手術中。 他們通過柔性鉸鏈桿機制擴大了壓電執行器的位移,以允許抓住微小的物體。
在支撐結構,連接結構,調整機制和測量工具中使用柔性鉸鏈在精確的機械精度測量,微米技術和納米技術的領域中廣泛適用。
總之,靈活的鉸鏈在通過壓電執行器實現超精緻的位移和定位方面具有許多優勢。 它們提供平穩的運動,高精度,沒有摩擦或反彈。 通過使用柔性鉸鏈機制來傳遞和放大壓電執行器的位移,工程師可以在廣泛的應用中實現更大的運動和更高的精度。