柔性铰链是使用金属的微弹性变形和恢复特性的机械组件。 这是一种高分辨率的传输机制,可以精确定位和微调。 它通常用于精确定位平台,光刻设备和扫描检测显微镜等设备中。
有几个因素会影响柔性铰链的性能。 设计柔性铰链时会做出一些假设,例如假设仅在铰链处发生弹性变形,并且结构的其余部分是刚性的。 还假定仅在操作过程中发生角变形,而没有任何扩展或其他变形。 但是,铰链本身具有固有的缺陷,例如旋转中心未固定,应力浓度和应力幅度随关节位置而变化。 物质特性和环境因素也会影响铰链的性能。
在结构设计中,多个铰链和连杆的组合是常见的。 但是,这些组合之间的处理误差会导致角和直线的耦合位移,从而导致机制的运动偏离所需路径。 对灵活的铰链机制中的错误来源进行了全面的分析,包括讨论材料性能,尺寸设计,振动,干扰,加工错误等的讨论。 这些分析旨在了解每个可变误差对柔性铰链性能的灵敏度。
先前的研究使用了诸如Taylor系列扩展,有限元方法和数值模拟等方法来研究柔性铰链中的制造错误引起的位移机制和耦合。 但是,这些研究的大多数都集中在单个机制上,并且在获得的范围和结果方面有一定的局限性。
本文着重于对直圆柔性铰链中三个加工误差的分析:切口弧向y方向的定位误差,x方向上切口弧的定位误差以及弧形轴中心线的垂直误差。 得出每种误差的刚度计算公式,并使用有限元分析(FEA)验证结果。 这项研究为铰链的参数设计和处理提供了宝贵的见解。
为了进行分析,使用ANSYS软件建立了悬臂梁结构模型。 通过修改误差参数来获得不同的设计点,并在这些设计点上进行仿真计算以获得刚度误差。 比较了从数值分析和有限元分析获得的结果,并发现非常吻合。
结果表明,切口弧在y方向和轴线的垂直度的误差对柔性铰链的刚度具有显着影响。 切口弧在X方向的位置的误差具有较小的影响。 基于这些发现,建议严格控制y方向和轴线垂直度的定位误差,同时还考虑降低T/R的值,以最大程度地减少X方向上定位误差的影响。
总之,这项研究对直圆柔性铰链及其对刚度的影响进行了全面分析。 派生的刚度计算公式和使用有限元分析的验证有助于理解铰链参数设计和处理。 可以进行进一步的研究,以探索其他类型的加工错误及其对柔性铰链性能的影响。