퍼지는
유연한 힌지는 단단한 구성 요소 대신 탄성 변형을 통해 운동 또는 에너지를 전송하는 능력으로 인해 정밀 장치에서 상당한 관심을 끌었습니다. 전통적인 모션 힌지와 비교할 때 Flexible Hinges는 높은 모션 해상도, 마찰, 윤활 및 간단한 제조 공정과 같은 장점을 제공합니다. 프로젝션 리소그래피 목표 렌즈, 실리콘 웨이퍼 워크 벤치, 전자 스캐닝 현미경, 우주 광학 원격 센서, 정밀 및 초고전 처리를 포함한 다양한 정밀 장치에서 널리 사용되었습니다. Flexible Hinges와 같은 호환 메커니즘의 주요 매개 변수는 동적 특성 및 위치의 위치 정확도에 직접 영향을 미칩니다. 따라서 유연한 힌지의 유연성을 이해하기 위해 광범위한 연구가 수행되었습니다. 이 논문은 직선형 빔 둥근 굴곡 힌지의 유연성 매트릭스를 연구하고 매개 변수를 분석하며 설계 및 최적화에 대한 이론적 기초를 제공하는 것을 목표로합니다.
직선 빔 둥근 굴곡 힌지의 유연성 매트릭스:
직선 빔 둥근 굴곡 힌지는 응력 집중을 피하기 위해 힌지 끝에 둥근 모서리가있는 직선 빔 시트 구조로 구성됩니다. 주요 기하학적 파라미터에는 힌지 높이 (H), 힌지 길이 (L), 힌지 두께 (T) 및 힌지 필레 반경 (R)이 포함됩니다. 힌지의 평면 내 변형을 분석하기 위해, 캔틸레버 빔 이론에 기초한 분석적 계산 방법이 도출된다. 이 방법은 유연한 힌지의 평면 내 유연성 매트릭스에 대한 폐쇄 루프 분석 모델을 설정합니다. 또한, 힌지 코너 반경 대 두께 (R/T)의 비율이 주어질 때 유연성 매트릭스에 대한 단순화 된 계산 공식이 제공됩니다.
유한 요소 검증:
파생 된 분석 공식을 검증하기 위해 UGNX Nastran 소프트웨어를 사용하여 직선형 둥근 굴곡 힌지의 유한 요소 모델이 설정됩니다. 유한 요소 모델의 시뮬레이션 결과는 유연성 매트릭스 매개 변수의 분석 값과 비교됩니다. 둘 사이의 상대 오차는 힌지 길이 대 두께 (L/T)의 비율과 힌지 코너 반경과 두께 (R/T)의 비율과 같은 힌지의 구조적 매개 변수의 상이한 변화에 대해 분석된다.
결과:
분석은 L/T 비에 대해 4보다 큰 비율에 대해, 유연성 매트릭스의 분석 값과 시뮬레이션 된 값 사이의 상대 오차는 5.5%내에 있음을 보여준다. 그러나 4 미만의 L/T 비의 경우, 캔틸레버 빔을 가느 다란 빔으로 단순화 할 수 없기 때문에 상대 오차가 비교적 큽니다. 이는 폐 루프 분석 모델이 큰 L/T 사례에 더 적합하다는 것을 나타냅니다.
비율 R/T와 관련하여, 분석은 0.1 ≤ r/t ≤ 0.5 일 때, 분석 값과 시뮬레이션 된 값 사이의 상대 오차가 9%내에 제어 될 수 있음을 보여준다. 또한, 0.2 ≤ r/t ≤ 0.3 인 경우, 상대 오차는 6.5%내에 제어 될 수있다. 이러한 결과는 유연성 매트릭스에 대한 폐쇄 루프 분석 모델의 정확성과 적용 가능성을 보여줍니다.
이 연구에서 개발 된 폐쇄 루프 분석 모델은 직선형 둥근 굴곡 힌지의 설계 및 최적화를위한 이론적 기초를 제공합니다. 분석은 힌지 길이, 두께 및 코너 반경의 변화를 고려할 때 모델이 유연성 매트릭스 매개 변수를 정확하게 예측할 수 있음을 보여주었습니다. 이러한 결과는 준수 메커니즘의 발전과 정밀 장치에서의 응용에 기여할 것입니다.