Өңдеу қателерінің түзу дөңгелек икемді ілмектерінің сапасына әсері_Таллеттер1

Кеңейтілген

Иілгіш топса - микроорлы деформацияны және металдың қалпына келтіру сипаттамаларын пайдаланатын жоғары әмбебап механизм. Ол микроқаржы беру механизмі ретінде, әр түрлі дәл баптау құрылғыларында, дәлдігі, дәлдік платформаларда, фотолитографияда және сканерлеу микроскоптарында және басқаларында қолданылады. Интеграцияланған өңдеу мен қалыптауға байланысты оның механикалық үйкеліс, мысалы, жұптастыру, жайылымдық емес және жоғары қозғалыс сезімталдығы сияқты ерекше сипаттамалар бар.

Алайда, икемді ілмектердің жұмысына әсер ететін бірнеше факторлар бар. Иілгіш топтарды жобалау кезінде, кейбір болжамдар жасалады, мысалы, топсада тек серпімді деформация пайда болады, ал қалғандары қатты дене ретінде қарастырылады. Сондай-ақ, жұмыс кезінде тек бұрыштық деформация, кеңею немесе басқа да деформациясыз ғана пайда болады деп болжанады. Сонымен қатар, топсаның өзі бұрыс орталығы, мысалы, айналу орталығы, стресс шоғырлануы, стресстің мөлшері, стресстің шамасы буынның позициясы мен қоршаған ортаның материалға әсері өзгереді.

Құрылымдық дизайнда бұрыш пен түзу орналасуы бірнеше ілмектер мен шыбықтардың тіркесімдері арасындағы қателерді өңдеуден туындауы мүмкін. Бұл идеалды жолдан ауытқып кетуі мүмкін. Кең орталық әдебиеттерде икемді топсалы механизмдердің қателік көздері, материалдық өнімділік, өлшемді дизайн, діріл, кедергі, араласу, өңдеу қателері және басқалары талданды. Бұл зерттеулер әр айнымалы қатенің сезімталдығы мен өндірістік қателіктерден туындаған жылжыту механизмінің сезімталдығына арналған құнды түсініктер береді.

Бұл жұмыста түзу дөңгелек икемді топсаның өңделетін қателіктерінің үш түрін талдауға және қателіктер болған кезде қаттылық есептеу формуласын алуға бағытталған. Топсаның өлшемдері мен қателер параметрлері қаттылықты есептеу үшін қолданылады және нәтижелерді шектеулі элементтерді талдау (FEA) арқылы тексереді. Бұл талдау топсаны орнату және өңдеу үшін құнды ақпарат береді.

Бұл қағазда талданған өңдеу қателерінің үш түріне y бағытында дана позициялау қатесі, y бағытында позициялау қателігі, x бағытындағы дана дана позициялау қатесі және доғаның ортаңғы сызығының перпендикулярлық қателігі кіреді. Әр қатенің түрі бөлек талданады, ал қаттылық қателері қате коэффициенттері мен топсаның параметрлеріне байланысты есептеледі. Қаттылық қатесінің қателігі формулалары салыстырылады және SEA модельдеу арқылы тексеріледі.

Сандық талдау және FEA модельдеу нәтижелері жақсы келісімді көрсетеді. Әр түрлі топса параметрлерінің мәндерінен алынған қатаң қателік қисықтары қателік коэффициенттері қаттылыққа айтарлықтай әсер ететінін көрсетеді. Y және X бағыттарындағы позициялау қателері айтарлықтай әсер етеді, ал перпендикальдылық қатесі қаттылыққа да әсер етеді. Осы қателіктерді түсіну арқылы олардың әсерін, тиімді дизайн және өңдеу процестерін икемді топсаға әсер ету үшін қолдануға болады.

Қорытындылай келе, түзу дөңгелек икемді ілмектердің қателіктері олардың қаттылығының тиімділігіне тікелей әсер етеді. Бұл жұмыста өңдеу қателіктерінің үш түріне жан-жақты талдау жасалады және әр қате түріне қаттылық есептеу формулаларын ұсынады. Нәтижелер икемді ілмектерді оңтайландыру үшін позициялау қателерін және перпендикулярлық қателерді бақылаудың маңыздылығын көрсететін FEA модельдері арқылы тексеріледі. Бұл зерттеудің нәтижелері әртүрлі салалардағы жобалау және өндірістік процестер үшін құнды сілтеме бола алады.