完璧な円形のための3度フリードームマイクロポジションプラットフォームのパフォーマンス比較、 1
抽象的な：
この研究は、マイクロポジションプラットフォームのパフォーマンスに対するさまざまな柔軟なヒンジフォームの影響の分析に焦点を当てています。 完璧な円、楕円、直角、および三角形の柔軟なヒンジを備えたプラットフォームの静的および動的特性は、有限要素ソフトウェアANSYSを使用して比較されます。 次の結論は分析から引き出されます。さまざまなプラットフォームはさまざまなレベルの柔軟性を示し、右角ヒンジプラットフォームは最も柔軟性があり、三角形のヒンジプラットフォームは最も柔軟ではありません。 完全な円と楕円の柔軟なヒンジは、同様の柔軟性を持っています。 ヒンジフォームは、プラットフォームのモーションパフォーマンスに大きく影響し、右角の柔軟なヒンジプラットフォームは、他のプラットフォームと比較して回転角度が小さくなります。 さまざまなヒンジプラットフォーム間で変位感度に違いがあり、円形のヒンジプラットフォームはすべての方向で高い感度を示しています。 柔軟なヒンジフォームは、プラットフォームの固有周波数にも影響し、右角のヒンジプラットフォームは最小の固有周波数を持ち、三角形のヒンジプラットフォームが最大の三角形のヒンジプラットフォームに影響します。 完全な円と楕円の柔軟なヒンジは、固有周波数に関して同様の柔軟性を示します。 さまざまな柔軟なヒンジプラットフォームのパフォーマンスを考慮すると、円形のヒンジプラットフォームは全体的なパフォーマンスが向上します。
マイクロナノレベルのポジショニングワークベンチは、精密機械加工、精密測定、マイクロエレクトロニクスエンジニアリング、バイオエンジニアリング、ナノサイエンス、技術などのさまざまな分野で重要な役割を果たします。 これらのプラットフォームには、マイクロナノレベルの位置決めの精度、優れた安定性、剛性、迅速な応答が必要です。 従来の運動学のペアの代わりに柔軟なヒンジを使用する準拠メカニズムは、新しいタイプの伝送構造として浮上しています。 彼らは、柔軟なヒンジの弾性変形を利用して動きと力を送信し、機械的摩擦、ギャップなし、高運動感度、単純な処理などの利点を提供します。 準拠メカニズムは、精密位置決めの分野での伝送メカニズムに特に適しています。 準拠メカニズムは、並列メカニズムと密接に連携し、準拠メカニズムの利点と欠点を強化および補完します。 2つの組み合わせは、高運動解像度、高速応答、小型サイズなど、精密な動作と位置決めの要件を満たすことができます。 平行構造はよりコンパクトで、シリーズ構造に比べてスペースが少なくなります。 結論として、準拠した並列メカニズムは、高精度、高剛性、コンパクト構造、良好な対称性、高速、大きな自己加重負荷、良好な動的性能などの利点を提供します。 マイクロポジションプラットフォームは柔軟なヒンジの変形に依存しているため、ヒンジフォームの選択はそのパフォーマンスにおいて重要な役割を果たします。 この研究の目的は、柔軟なヒンジを使用した4つの異なる3-RRR準拠の並列メカニズムを設計し、有限要素分析ソフトウェアを使用して静的特性と動的特性を比較することを目的としています。 この分析の結果は、準拠した並列メカニズムのための柔軟なヒンジフォームの選択に関する洞察を提供します。
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