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完美圆形的三度微位定位平台的性能比较 1

抽象的:

这项研究重点是分析不同柔性铰链形式对微位置平台性能的影响。 使用有限元软件ANSYS比较具有完美圆,椭圆,直角和三角形柔性铰链的平台的静态和动态特性。 从分析中得出以下结论:不同的平台表现出不同级别的灵活性,右角铰链平台是最灵活的,三角铰链平台是最不灵活的。 完美的圆圈和椭圆柔性铰链具有相似的灵活性。 铰链形式显着影响平台的运动性能,与其他平台相比,右角柔性铰链平台具有较小的旋转角度。 不同的铰链平台之间的位移灵敏度存在差异,圆形铰链平台在各个方向上都表现出更高的灵敏度。 柔性铰链形式还影响了平台的固有频率,其右角铰链平台具有最小的固有频率,而三角形铰链平台的最大。 完美的圆圈和椭圆柔性铰链在固有频率方面具有相似的灵活性。 考虑到不同柔性铰链平台的性能,圆形铰链平台表现出更好的整体性能。

微纳米级定位工作台在各个领域中起着至关重要的作用,例如精确加工,精确测量,微电子工程,生物工程,纳米科学和技术。 这些平台需要微纳米级定位精度,出色的稳定性,刚度和快速响应。 使用灵活的铰链代替传统运动学对的合规机制已成为一种新型的传输结构。 他们利用弹性铰链的弹性变形来传输运动和力,提供了没有机械摩擦,没有间隙,高运动灵敏度和简单处理的优势。 合规机制特别适合精确定位领域的传输机制。 合规机理与平行机制紧密合作,该机制增强并补充了兼容机制的优势和缺点。 两者的组合可以满足精确操作和定位的要求,包括高运动分辨率,快速响应和尺寸小。 与串联结构相比,并行结构更紧凑,占用更少的空间。 总之,兼容的并行机制具有高精度,高刚度,紧凑的结构,良好的对称性,高速,高自重负载和良好的动态性能。 由于微位置平台依赖于柔性铰链的变形,因此铰链形式的选择在其性能中起着至关重要的作用。 这项研究旨在设计具有柔性铰链的四种不同的3-RRR符合3-RRR的平行机制,并使用有限元分析软件比较其静态和动态特性。 该分析的结果为选择柔性铰链形式的选择提供了见解,以实现合规机理。

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