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完美圓形的三度微位定位平台的性能比較 1

抽象的:

這項研究重點是分析不同柔性鉸鏈形式對微位置平台性能的影響。 使用有限元軟件ANSYS比較具有完美圓,橢圓,直角和三角形柔性鉸鏈的平台的靜態和動態特性。 從分析中得出以下結論:不同的平台表現出不同級別的靈活性,右角鉸鏈平台是最靈活的,三角鉸鏈平台是最不靈活的。 完美的圓圈和橢圓柔性鉸鏈具有相似的靈活性。 鉸鏈形式顯著影響平台的運動性能,與其他平台相比,右角柔性鉸鏈平台具有較小的旋轉角度。 不同的鉸鏈平台之間的位移靈敏度存在差異,圓形鉸鏈平台在各個方向上都表現出更高的靈敏度。 柔性鉸鏈形式還影響了平台的固有頻率,其右角鉸鏈平台具有最小的固有頻率,而三角形鉸鏈平台的最大。 完美的圓圈和橢圓柔性鉸鏈在固有頻率方面具有相似的靈活性。 考慮到不同柔性鉸鏈平台的性能,圓形鉸鏈平台表現出更好的整體性能。

微納米級定位工作台在各個領域中起著至關重要的作用,例如精確加工,精確測量,微電子工程,生物工程,納米科學和技術。 這些平台需要微納米級定位精度,出色的穩定性,剛度和快速響應。 使用靈活的鉸鏈代替傳統運動學對的合規機制已成為一種新型的傳輸結構。 他們利用彈性鉸鏈的彈性變形來傳輸運動和力,提供了沒有機械摩擦,沒有間隙,高運動靈敏度和簡單處理的優勢。 合規機制特別適合精確定位領域的傳輸機制。 合規機理與平行機制緊密合作,該機制增強並補充了兼容機制的優勢和缺點。 兩者的組合可以滿足精確操作和定位的要求,包括高運動分辨率,快速響應和尺寸小。 與串聯結構相比,並行結構更緊湊,佔用更少的空間。 總之,兼容的並行機制具有高精度,高剛度,緊湊的結構,良好的對稱性,高速,高自重負載和良好的動態性能。 由於微位置平台依賴於柔性鉸鏈的變形,因此鉸鏈形式的選擇在其性能中起著至關重要的作用。 這項研究旨在設計具有柔性鉸鏈的四種不同的3-RRR符合3-RRR的平行機制,並使用有限元分析軟件比較其靜態和動態特性。 該分析的結果為選擇柔性鉸鏈形式的選擇提供了見解,以實現合規機理。

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