추상적인:
이 연구는 마이크로 위치 플랫폼의 성능에 대한 다양한 유연한 힌지 형태의 영향을 분석하는 데 중점을 둡니다. 완벽한 원, 타원, 직각 및 삼각형 유연한 힌지를 갖춘 플랫폼의 정적 및 동적 특성은 유한 요소 소프트웨어 ANSYS를 사용하여 비교됩니다. 다음과 같은 결론은 분석에서 도출됩니다. 다른 플랫폼은 다양한 수준의 유연성을 나타내며, 오른쪽 각 힌지 플랫폼은 가장 유연하고 삼각형 힌지 플랫폼이 가장 유연하지 않습니다. 완벽한 원과 타원 유연한 힌지는 유연성이 비슷합니다. 힌지 형태는 플랫폼의 모션 성능에 크게 영향을 미치며, 오른팔 유연성 힌지 플랫폼은 다른 플랫폼에 비해 회전 각도가 작습니다. 원형 힌지 플랫폼은 모든 방향에서 더 높은 감도를 나타내는 다른 힌지 플랫폼 간의 변위 민감도에 차이가 있습니다. 유연한 힌지 형태는 또한 플랫폼의 고유 주파수에 영향을 미치며, 오른겨진 힌지 플랫폼은 가장 작은 고유 주파수와 삼각형 힌지 플랫폼이 가장 큰 삼각형 힌지 플랫폼을 갖습니다. 완벽한 원과 타원 유연한 힌지는 고유 주파수 측면에서 유사한 유연성을 나타냅니다. 다른 유연한 힌지 플랫폼의 성능을 고려할 때 원형 힌지 플랫폼은 전반적인 성능이 향상됩니다.
마이크로 나노 레벨 포지셔닝 워크 벤치는 정밀 가공, 정밀 측정, 마이크로 전자 공학, 생체 공학, 나노 과학 및 기술과 같은 다양한 분야에서 중요한 역할을합니다. 이 플랫폼에는 마이크로 나노 레벨 포지셔닝 정확도, 탁월한 안정성, 강성 및 빠른 응답이 필요합니다. 전통적인 운동 학적 쌍 대신 유연한 힌지를 사용하는 준수 메커니즘은 새로운 유형의 전송 구조로 등장했습니다. 그들은 유연한 경첩의 탄성 변형을 사용하여 운동과 힘을 전달하여 기계적 마찰, 갭, 높은 모션 감도 및 간단한 처리와 같은 장점을 제공합니다. 준수 메커니즘은 정밀 위치 분야의 전송 메커니즘에 특히 적합합니다. 준수 메커니즘은 병렬 메커니즘과 밀접하게 작동하여 준수 메커니즘의 장점과 단점을 강화하고 보완합니다. 이 둘의 조합은 높은 모션 해상도, 빠른 응답 및 작은 크기를 포함하여 정밀 작동 및 위치 요구 사항을 충족 할 수 있습니다. 병렬 구조는 더 작고 시리즈 구조에 비해 공간을 덜 차지합니다. 결론적으로, 준수하는 병렬 메커니즘은 높은 정밀, 높은 강성, 소형 구조, 좋은 대칭, 고속, 자체 가중 하중 및 양호한 동적 성능과 같은 이점을 제공합니다. 마이크로 포지셔닝 플랫폼은 유연한 힌지의 변형에 의존하기 때문에 힌지 형태의 선택은 성능에 중요한 역할을합니다. 이 연구는 유연한 힌지를 사용하여 4 가지 다른 3-RRR 순환 병렬 메커니즘을 설계하고 유한 요소 분석 소프트웨어를 사용하여 정적 및 동적 특성을 비교하는 것을 목표로합니다. 이 분석의 결과는 준수 평행 메커니즘을위한 유연한 힌지 형태의 선택에 대한 통찰력을 제공합니다.